特許
J-GLOBAL ID:200903080805990146

レーザ光発生装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小池 晃 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-093563
公開番号(公開出願番号):特開2000-286487
出願日: 1999年03月31日
公開日(公表日): 2000年10月13日
要約:
【要約】【課題】 安定に且つ確実に制御ループの引き込み動作を行い、所定の光共振器長を高い精度で維持することができるようにする。【解決手段】 レーザ光源1から出射されたレーザ光を電気光学位相変調器2により位相変調して光共振器3に入射し、ロッキング回路6により、上記光共振器3により反射されたレーザ光の検出信号を上記電気光学位相変調器の位相変調信号で同期検波することにより得られる誤差信号に基づいて、上記光共振器の共振器長を可変させる位置決め素子8を帰還制御して、上記光共振器3の共振器長を周波数同期ロックし、入射されたレーザ光を波長変換素子4により波長変換して、高次のレーザ光を上記光共振器3から取り出す。制御装置7は、上記ロッキング回路6により上記位置決め素子8を帰還制御する制御ループのループゲインを上記制御ループの引き込み時に漸増させる。
請求項(抜粋):
レーザ光を出射するレーザ光源と、内部に波長変換素子が配置され、上記レーザ光源から入射されたレーザ光を上記波長変換素子により波長変換して高次のレーザ光を取り出す光共振器と、上記レーザ光源から上記光共振器に入射されるレーザ光の入射光路中に配置され、上記光共振器に入射されるレーザ光を位相変調する電気光学位相変調器と、上記光共振器により反射されたレーザ光の検出信号を上記電気光学位相変調器の位相変調信号で同期検波することにより得られる誤差信号に基づいて、上記光共振器の共振器長を可変させる共振器長可変駆動素子を帰還制御して、上記光共振器の共振器長を周波数同期ロックするロッキング回路と、上記ロッキング回路により上記共振器長可変駆動素子を帰還制御する制御ループのループゲインを上記制御ループの引き込み時に漸増させる制御装置とを備えるレーザ光発生装置。
IPC (2件):
H01S 3/083 ,  H01S 3/098
FI (2件):
H01S 3/083 ,  H01S 3/098
Fターム (10件):
5F072AB02 ,  5F072HH02 ,  5F072HH05 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK05 ,  5F072KK12 ,  5F072LL02 ,  5F072MM03 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR05
引用特許:
審査官引用 (5件)
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