マイクロレンズ、マイクロレンズアレイ及びそれらを用いた固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西山恵三 , 内尾裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-172312
公開番号（公開出願番号）：特開2005-352494
出願日： 2005年06月13日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】帯電による異物の付着を抑制しうるマイクロレンズ。【解決手段】マイクロレンズにおいて、前記マイクロレンズ上に、光透過性の導電膜と、該導電膜と前記マイクロレンズの間に配された前記マイクロレンズの構成材料の屈折率より低い屈折率を有する光透過性の低屈折率膜と、を有することを特徴とするマイクロレンズ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

マイクロレンズにおいて、前記マイクロレンズの表面が、光透過性の導電膜と、該導電膜と前記マイクロレンズの間に配された前記マイクロレンズの構成材料の屈折率より低い屈折率を有する光透過性の低屈折率膜と、により覆われていることを特徴とするマイクロレンズ。

IPC (5件)：

G02B3/00 , G02B1/10 , G02B1/11 , H01L27/14 , H04N5/335

FI (6件)：

G02B3/00 A , G02B3/00 Z , H04N5/335 U , G02B1/10 A , G02B1/10 Z , H01L27/14 D

Fターム (13件)：

2K009AA02 , 2K009CC03 , 2K009CC06 , 2K009EE03 , 4M118AA08 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA14 , 4M118CA40 , 4M118GC07 , 4M118GD04 , 5C024CX41 , 5C024EX43

引用特許：

出願人引用 (2件)

ヨーロッパ特許公開第948055号公報
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-307952 出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (10件)

特許第3840058号
特表平3-505655
特開昭62-244001

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