特許

J-GLOBAL ID：200903080835865818

シリコン台座用ガラス及びシリコン基材型センサー

発明者： 相楽 弘治 ,  蜂谷 洋一
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 塩澤 寿夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166487
公開番号（公開出願番号）：特開平7-247134
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 シリコン結晶の熱膨張との整合性に優れ、シリコン結晶板との陽極接合が可能であり、ナトリウム等のアルカリ金属を含まず、かつ高い耐熱性と化学的耐久性とを有するシリコン台座用ガラス及びこのガラスを用いたシリコン基材型センサーの提供。【構成】 各成分の含有量が、SiO2 が50〜65重量%、Al2 O3 が12〜28重量%、SiO2 +Al2 O3 が65〜85重量%、MgOが0〜20重量%、ZnOが0〜10重量%、B2 O3 が0〜20重量%、MgO+ZnO+B2 O3 が10〜30重量%であるガラスであって、少なくとも陽極接合加熱温度帯域において、前記ガラスの熱膨張による伸び率α1 と、前記ガラスと接合されるシリコン結晶の熱膨張による伸び率α2 との比率α1 /α2 が0.8〜1.2の範囲の値であることを特徴とするシリコン台座用ガラス。さらに前記ガラスであって、前記両伸び率の差(α1 -α2 )が前記温度域においてゼロ若しくは正の値であるか、又はゼロ若しくは負の値であるシリコン台座用ガラス。さらにこのガラスを用いたシリコン基材型センサー。

請求項（抜粋）：

各成分の含有量が、SiO2 50〜65重量%Al2 O3 12〜28重量%(但し、SiO2 +Al2 O3 65〜85重量%)MgO 0〜20重量%ZnO 0〜10重量%B2 O3 0〜20重量%(但し、MgO+ZnO+B2 O3 10〜30重量%)であるガラスであって、少なくとも陽極接合加熱温度帯域において、前記ガラスの熱膨張による伸び率α1 と、前記ガラスと接合されるシリコン基材の熱膨張による伸び率α2 との比率α1 /α2 が0.8〜1.2の範囲の値であることを特徴とするシリコン台座用ガラス。

IPC (5件)：

C03C 3/083 ,  G01L 1/22 ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 21/02 ,  H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 結晶化ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-158544   出願人：ホーヤ株式会社
• 特開平4-083733
  
• 特開昭61-281041
  
• 特開昭64-061329
  
• 熱安定性の耐薬品性ガラス組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-155142   出願人：サン-ゴバンビトラージュアンテルナショナル