特許

J-GLOBAL ID：200903080856538566

表面汚染検査装置および表面汚染検査方法

発明者： 坪井 佑介
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (2件)： 菊池 治 ,  大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-152455
公開番号（公開出願番号）：特開2008-304350
出願日： 2007年06月08日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：

【課題】廃棄体の表面へのふき取り部材の押し付け力の変動を抑制する。【解決手段】廃棄体の表面の放射能汚染の程度をその廃棄体の表面をふき取り部材でふき取ってそのふき取り部材の放射能を測定することによって検査する表面汚染検査装置に、廃棄体2を配置する回転テーブル41と、ふき取り部材が着脱可能に形成されたスミヤ用マニピュレータ1と、廃棄体2の製作精度および廃棄体2の配置精度を計測する距離センサ5および画像位置計測器6と、設計どおりに廃棄体2が製造され配置された場合に廃棄体2にふき取り部材を押し付ける力が一定になるような目標軌道を計測された製作精度および配置精度に基づいて目標軌道を修正し、その修正された目標軌道に沿ってふき取り部材を廃棄体2に対して相対的に移動させてふき取り部材に廃棄体2の表面をふき取らせる計算機7と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

廃棄体の表面の放射能汚染の程度をその廃棄体の表面をふき取り部材でふき取ってそのふき取り部材の放射能を測定することによって検査する表面汚染検査装置において、 前記廃棄体を配置するステージと、 前記ふき取り部材が着脱可能に形成されて前記ステージに配置された前記廃棄体との相対的な位置が変化可能に形成されたマニピュレータと、 前記廃棄体の所定の形状からのずれである製作精度および前記廃棄体の前記ステージの所定の位置からのずれである配置精度を計測する計測手段と、 前記廃棄体が所定の形状で製造されて前記ステージの所定の位置に配置された場合に前記廃棄体に前記ふき取り部材を押し付ける力が一定になるような前記廃棄体に対する前記ふき取り部材の相対的な目標軌道を記憶し、前記製作精度および前記配置精度に基づいて前記廃棄体に前記ふき取り部材を押し付ける力が一定になるように前記目標軌道を修正し、その修正された目標軌道に沿って前記ふき取り部材を前記廃棄体に対して相対的に移動させて前記ふき取り部材に前記廃棄体の表面をふき取らせる計算機と、 を有することを特徴とする表面汚染検査装置。

IPC (2件)：

G01T 1/169 ,  G01N 1/04

FI (3件)：

G01T1/169 C ,  G01N1/04 R ,  G01N1/04 V

Fターム (17件)：

2G052AA38 ,  2G052AB28 ,  2G052BA19 ,  2G088EE18 ,  2G088FF04 ,  2G088FF05 ,  2G088FF06 ,  2G088HH03 ,  2G088JJ01 ,  2G088JJ22 ,  2G088JJ23 ,  2G088JJ24 ,  2G088JJ25 ,  2G088KK24 ,  2G088KK40 ,  2G088LL13 ,  2G088LL30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 表面汚染検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-095737   出願人：株式会社東芝