特許
J-GLOBAL ID：200903080882048887
共焦点型検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
宮川 貞二
, 東野 博文
, 内藤 忠雄
, 柴田 茂夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-339652
公開番号（公開出願番号）：特開2005-107097
出願日： 2003年09月30日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】 機構を簡単にし、制御性を上げた共焦点型検査装置を提供する。【解決手段】 検査対象2に対向して配置された対物レンズ5と、対物レンズ5を介して検査対象2に輝点光10aを投光する投光部10と、前記投光される光を反射して輝点光10aで検査対象2を二次元に走査する二次元走査ミラー20と、対物レンズ5を介して検査対象2から戻ってくる前記投光された輝点光10aを結像する結像レンズ6と、結像レンズ6により結像される光を受光する受光部40と、受光部40への光を絞る絞り部41とを備える、共焦点型検査装置1とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象に対向して配置された対物レンズと;
前記対物レンズを介して前記検査対象に輝点光を投光する投光部と;
前記投光される光を反射して前記輝点光で前記検査対象を二次元に走査する二次元走査ミラーと;
前記対物レンズを介して前記検査対象から戻ってくる前記投光された輝点光を結像する結像レンズと;
前記結像レンズにより結像される光を受光する受光部と;
前記受光部への光を絞る絞り部とを備える;
共焦点型検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2H052AA08
, 2H052AB05
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC33
, 2H052AC34
, 2H087KA09
, 2H087LA01
, 2H087RA27
