特許
J-GLOBAL ID：200903080896937897
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-075569
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267943
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 目盛りに供するための結晶等を用意することなく、温度変化等に起因するSTM像やAFM像等の歪みを正確に補正することのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 探針およびその駆動部を複数組備え、少なくとも一つの探針を走査探針とするとともに、他の少なくとも一つの探針を補正用探針とし、この補正用探針は、試料または試料台の特定位置を追従するように制御し、その補正用探針の移動量から、試料と走査探針およびその駆動部との経時的な相対位置の変動を把握し、走査探針による画像の補正に供するように構成する。
請求項（抜粋）：
3次元方向への独立的な駆動手段を備えた探針により、試料表面を2次元方向に走査しつつ、探針と試料表面との間の相互作用が一定となるように探針の試料表面からの距離を変化させ、その変化量から試料表面の情報を得る顕微鏡において、上記探針とその駆動手段を複数組備えるとともに、そのうちの少なくとも一つは走査探針として試料表面を2次元方向に走査して試料表面の情報を得るように構成される一方、他の探針のうちの少なくとも一つは、画像補正用探針として、追従制御手段により試料または当該試料を載置する試料台の特定位置を追従するように移動制御され、その補正用探針の移動量は、上記走査探針による試料像を補正するためのデータとして画像補正手段に供給されるよう構成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 B
, G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
