特許

J-GLOBAL ID：200903080900850424

電子ビーム欠陥検査装置および欠陥検査方法

発明者： 大久保 至晴
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-039849
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223662
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 短時間に検査試料の欠陥を検出・観察できる欠陥検査装置などを提供すること。【解決手段】 電子ビームを照射することにより検査試料の欠陥を検出する電子ビーム欠陥検査装置において、前記欠陥を検出する検出モードと、前記検出モードでの検出結果に基づき、前記欠陥を観察する観察モードとの少なくとも2つの動作モードを有することを特徴とする。また、観察モードでは検出モードと異なる高倍率の観察光学系で行ない、欠陥情報記憶装置、情報解析演算装置と表示工程を有する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを照射することにより検査試料の欠陥を検出する電子ビーム欠陥検査装置において、前記欠陥を検出する検出モードと、前記検出モードでの検出結果に基づき、前記欠陥を観察する観察モードとの少なくとも2つの動作モードを有することを特徴とする電子ビーム欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G01R 31/302 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 31/28 L ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 格子欠陥観察用電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-128471   出願人：株式会社日立製作所
• パターン検査装置、欠陥検査装置およびパターン検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-232565   出願人：株式会社ニコン