特許
J-GLOBAL ID：200903080902920802
外気処理装置及び外気清浄化システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-321015
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156139
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】 フィルタの交換機会が少なく、設備保守が容易で、クリーンルーム等の稼動停止回数が少なく設備稼動率を向上させられる外気処理装置及び外気清浄化システムを提供する。【解決手段】 外気を通流させながら該外気に含まれる酸成分をpH調整及び温度調整されたアルカリ溶液シヤワー32で中和除去し、アルカリ成分を同じくpH調整及び温度調整された酸溶液シャワー33で中和除去した後に、さらに残存する酸成分もしくはアルカリ成分を水シャワー34で溶解し除去し、水シャワー34で処理された空気中の水分を多孔質疎水性膜69を用いたミストトラップ35で分離除去すると共に、同時に各シャワー及びミストトラップ35を通流させる間にパーティクルを除去し、続いて後段に配した酸・アルカリ除去フイルタ36及びパーティクル除去フイルタ37による除去を行うようにし、フィルタが長期間使用できるようにしている。
請求項（抜粋）：
取り込み空気に含まれる酸成分を中和して除去するアルカリ溶液シヤワーとアルカリ成分を中和して除去する酸溶液シャワーの少なくとも一方からなる処理部と、この処理部で処理された空気中に残存する成分を溶解し除去する水シャワーと、この水シャワーで処理された空気中の水分を分離除去するミストトラップとを具備することを特徴とする外気処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 53/18 E
, B01D 69/02
審査官引用 (6件)
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特開昭61-265432
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特開平4-235745
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排気浄化機構
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-290833
出願人：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社
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