摩擦真空ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-574841
公開番号（公開出願番号）：特表2002-526721
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：

【要約】本発明は、摩擦真空ポンプであって、ステータユニット(9)、ロータユニット(12)、及びケーシング(2,7)を有しており、ポンプ運転中にステータとロータとの間の狭い間隙が維持される形式のものに関し、間隙をさらに小さく保つために、本発明に基づき、ステータ(9)とロータ(8)とが振動技術的に互いに連結されており、ステータユニット(9)及びロータユニット(8)から成る機構(3)が一緒に振動部材(4,5)を介してケーシング(2,7)内に保持されている。

請求項（抜粋）：

摩擦真空ポンプであって、ステータユニット(9)、ロータユニット(12)、及びケーシング(2,7)を有しており、ポンプ運転中にステータとロータとの間の狭い間隙が維持される形式のものにおいて、ステータ(9)とロータ(8)とが振動技術的に互いに連結されており、ステータユニット(9)及びロータユニット(8)から成る機構(3)が一緒に振動部材(4,5)を介してケーシング(2,7)内に保持されていることを特徴とする摩擦真空ポンプ。

Fターム (5件)：

3H031DA02 , 3H031EA00 , 3H031FA01 , 3H031FA11 , 3H031FA31

引用特許：

審査官引用 (6件)

モレキュラドラッグポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-283375 出願人：株式会社島津製作所
特開平2-264197
特開平2-027194

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