特許
J-GLOBAL ID:200903080972305218

中空製品の複合型内表面への気相コーティングの方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 進
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-502882
公開番号(公開出願番号):特表2001-512181
出願日: 1998年05月08日
公開日(公表日): 2001年08月21日
要約:
【要約】複数の気流路を有する中空製品の内表面をコーティングするための方法及び装置であり、異なる割合に制御される少なくとも2本の気流路に対するコーティング・ガス流量で気流路にコーティング・ガスを供給して、各気流路の内表面に所望の厚さのコーティングを堆積する。
請求項(抜粋):
少なくとも2本の気流路を有する中空製品の内表面をコーティングする方法であって、 各気流路の内表面に所望の厚さのコーティングを堆積するために、別々に異なる割合に制御される少なくとも2本の気流路に対するコーティング・ガス流量で製品の気流路内にコーティング・ガスを供給することを特徴とする方法。
IPC (4件):
C23C 16/455 ,  B05D 7/22 ,  F01D 5/28 ,  B05B 13/06
FI (4件):
C23C 16/455 ,  B05D 7/22 Z ,  F01D 5/28 ,  B05B 13/06
Fターム (31件):
3G002EA05 ,  3G002EA06 ,  4D075AA01 ,  4D075AA71 ,  4D075AA83 ,  4D075BB57Z ,  4D075BB92Z ,  4D075CA47 ,  4D075DA16 ,  4D075DA19 ,  4D075DB02 ,  4D075DC08 ,  4D075DC16 ,  4D075EA02 ,  4D075EC10 ,  4F035AA04 ,  4F035BA22 ,  4F035BB13 ,  4F035BB32 ,  4F035CA01 ,  4F035CB16 ,  4F035CE01 ,  4F035CE10 ,  4K030AA02 ,  4K030AA04 ,  4K030BA02 ,  4K030CA15 ,  4K030JA01 ,  4K030JA05 ,  4K030KA41 ,  4K030LA11
引用特許:
審査官引用 (5件)
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