特許

J-GLOBAL ID：200903080973273425

座標測定装置と画像データ入力装置

発明者： 青木 弘幸 ,  山田 光治 ,  岩崎 吾郎 ,  古正 博幸 ,  大友 文夫 ,  石鍋 郁夫
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 和泉 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-187053
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027513
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 平板上の座標を高精度に測定することのできる座標測定装置及び画像データ入力装置を提供する。【構成】 イメージスキャナー1000は、ベース100と、観察光学系と、計測光学系と、X-Yステージ400とから構成され、X-Yステージ400はXステージ410と、X軸ガイド420,421と、X軸モータ430と、Yステージ440と、Y軸ガイド450,451と、Y軸モータ460とから構成されている。Yステージ440には、被測定物を載せるための載置ステージ470が形成され、定められた位置に配置された複数のパターンを平板に形成し、撮像手段がパターンを画像信号に変換する計測光学系を有しており、撮像手段からの画像信号に基づき、演算処理手段が、平板上の座標を演算する様になっており、観察光学系が、被測定物の画像イメージを画像信号に変換することができる。

請求項（抜粋）：

水平移動可能な平板と、この平板に形成され、定められた位置に配置された複数のパターンと、このパターンを画像信号に変換するための撮像手段と、この撮像手段からの画像信号に基づき、前記平板上の座標を演算するための演算処理手段とを備えた座標測定装置。

IPC (5件)：

G01B 11/00 ,  G06T 1/00 ,  H04N 1/10 ,  H04N 1/107 ,  H04N 7/18

FI (2件)：

G06F 15/64 325 H ,  H04N 1/10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 輪郭形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-096826   出願人：株式会社東京精密