特許
J-GLOBAL ID：200903081030067423
原子間力顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241503
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079834
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 外乱振動の影響の少ない高精度な粗さ測定ができる原子間力顕微鏡。【構成】 片持ちばり26の先端につけられた探針28と被測定物30表面との間の原子間力による片持ちばり26のたわみ量をレーザ光で測定する。二重焦点レンズ22を用いてレーザ光線を2本に分け、一方を片持ちばり26の背面、他方を被測定物30表面に照射して測定時の振動成分を除去し、高精度な表面粗さ測定ができる。
請求項（抜粋）：
被測定物表面に極近傍まで接近させ前記被測定物表面との間に原子間力を発生させるための探針と、上記探針と被測定物表面との間に原子間力が発生可能な距離内に接近させて支持する片持ちばりと、上記被測定物を走査させる走査手段とを備え、原子間力により生じる上記片持ちばりのたわみを光学的に検出する原子間力顕微鏡において、互いに偏波面が直交し、周波数が僅かに異なる2種類の直線偏光を含むレーザ光を出力するレーザ光源装置と、前記レーザ光源装置によって出力された2種類の直線偏光のうちの一方を平行光、他方を収束光とさせる二重焦点レンズを含み、一方の直線偏光を前記片持ちばりの背面上に集光させるとともに、他方の直線偏光を平行光とし、かつ前記被測定物の表面上に該一方の直線偏光の照射径よりも十分大きい照射径にて照射する光学系と、前記2種類の直線偏光の反射光を前記光学系によって干渉させ、その干渉のビート周波数から前記片持ちばりのたわみ量を検出する検出手段と、を備えることを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 11/30 102
, H01J 37/28
