特許
J-GLOBAL ID：200903081041070027
強誘電性薄膜及びその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-426504
公開番号（公開出願番号）：特開2004-363083
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】強誘電性薄膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】Pb前駆体の(部分)加水分解物と、Pb前駆体の(部分)加水分解重縮合物のうち選択された一つ以上と、Zr前駆体の(部分)加水分解物、Zr前駆体の(部分)加水分解重縮合物、少なくとも一つのヒドロキシイオン及び少なくとも一つの非加水分解性リガンドを有するZr錯体のうち選択された一つ以上と、Ti前駆体の(部分)加水分解物、Ti前駆体の(部分)加水分解重縮合物、少なくとも一つのヒドロキシイオン及び少なくとも一つの非加水分解性リガンドを有するTi錯体のうち選択された一つ以上と、を含むPZTゾルゲル溶液と、Si前駆体の(部分)加水分解物及びSi前駆体の(部分)加水分解重縮合物のうち選択された一つ以上と、ビスマス前駆体である(Bi(Ph)3)またはBi(tmhd)3とC1-C10アルコキシアルコール間の還流結果物を含むBi2SiO5ゾルゲル溶液と、を含む強誘電性薄膜形成用組成物、これから形成された強誘電性薄膜及びその製造方法。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
PZTゾルゲル溶液及びBi2SiO5ゾルゲル溶液を含み、
前記PZTゾルゲル溶液は、
(a)Pb前駆体の(部分)加水分解物と、Pb前駆体の(部分)加水分解重縮合物とのうち選択された一つ以上と、
(b)Zr前駆体の(部分)加水分解物、Zr前駆体の(部分)加水分解重縮合物及び少なくとも一つのヒドロキシイオン及び少なくとも一つの非加水分解性リガンドを有するZr錯体のうち選択された一つ以上と、
(c)Ti前駆体の(部分)加水分解物、Ti前駆体の(部分)加水分解重縮合物、及び少なくとも一つのヒドロキシイオン及び少なくとも一つの非加水分解性リガンドを有するTi錯体のうち選択された一つ以上と、を含み、
前記Bi2SiO5ゾルゲル溶液は、
(d)Si前駆体の(部分)加水分解物及びSi前駆体の(部分)加水分解重縮合物のうち選択された一つ以上と、
(e)ビスマス前駆体である(Bi(Ph)3)またはBi(tmhd)3(但し、tmhdは2,2,6,6-テトラメチルへプタン-3,5-ジオンを表す)と、C1-C10アルコキシアルコール間の還流結果物と、を含む強誘電性薄膜形成用組成物。
IPC (5件)：
H01B3/12
, C01G25/00
, H01B3/00
, H01L21/316
, H01L27/105
H01B3/12 301
, C01G25/00
, H01B3/00 A
, H01L21/316 G
, H01L27/10 444C
4G048AA03
, 4G048AB02
, 4G048AC02
, 4G048AD02
, 4G048AE05
, 4G048AE08
, 5F058BA20
, 5F058BB10
, 5F058BC03
, 5F058BF46
, 5F058BH03
, 5F083FR01
, 5F083GA21
, 5F083JA13
, 5F083JA15
, 5F083JA38
, 5F083JA39
, 5F083PR23
, 5F083PR33
, 5F083PR34
, 5G303AA10
, 5G303AB20
, 5G303BA12
, 5G303CA01
, 5G303CA09
, 5G303CB05
, 5G303CB25
, 5G303CB30
, 5G303CB35
, 5G303CB39
, 5G303CD04
, 5G303DA02
, 5G303DA05
