特許

J-GLOBAL ID：200903081052573306

投影露光装置用照明光学系

発明者： 上原 靖弘 ,  大橋 一司
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-051609
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263313
出願日： 1994年03月23日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 光源からの光の利用効率が高くなり、かつ構成が簡略化されて容易に実現し得る投影露光装置用照明光学系を提供する。【構成】 楕円鏡2、水銀ランプ3、レンズ4より成る光源1からの光束を、ブレーズ化した回折光学素子61、71より成る光束分離部(光束分離光学系)51に入射して、そこで4つの光束に分離する。光束分離部51により分離された光束をコンデンサレンズ10を介してレチクル11上へ導く。その際、光束分離部51の回折光学素子61、71には、光源1からの光束を4つに分離する直線格子パターン61a、71aが形成されているので、光源1で発生された照明光を効率良く利用することができ、スループットが向上する。

請求項（抜粋）：

光源からの光束を分離する光束分離光学系と、該光束分離光学系により分離された光束をレチクル上へ導くコンデンサ光学系とを有する投影露光装置用照明光学系において、前記光束分離光学系が、前記光源からの光束を4つに分離する直線格子パターンを有する回折光学手段を具えることを特徴とする投影露光装置用照明光学系。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/42 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-225514
  
• フォトマスク及び露光方法並びに投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-006406   出願人：株式会社ニコン