特許

J-GLOBAL ID：200903081077507880

半導体テストシステム

発明者： 菅森 茂
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-109864
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349927
出願日： 2001年04月09日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】半導体デバイスを試験するための半導体テストシステムであり、特に各種の異なるタイプの試験装置をモジュール化してそれらの複数個を組み合わせ、かつ被試験デバイスに固有の機能に応じた測定モジュールをテスト・フィクスチャ内に設けることにより、低コストでアプリケーションスペシフィックに構成した半導体テストシステムを提供する。【解決手段】この半導体試験システムは、2以上の同一または異なる種類の性能を有するテスタモジュールと、そのテスタモジュールを2個以上組み合わせて搭載するシステム本体と、そのシステム本体上に設けられ、テスタモジュールと被試験デバイスを電気的に接続するテスト・フィクスチャと、そのテスト・フィクスチャに設けられ被試験デバイスの機能に応じてテスタモジュールと被試験デバイス間の信号変換を行う測定モジュールと、そのテストシステムに搭載された上記テスタモジュールとシステムバスを介して通信することにより、システム全体の動作を制御するホストコンピュータとにより構成される。

請求項（抜粋）：

半導体テストシステムにおいて、同一または異なる種類の性能を有するテスタモジュールと、そのテスタモジュールを任意に組み合わせて搭載するシステム本体と、そのテストシステム本体に設けられ、テスタモジュールと被試験デバイスを電気的に接続するテスト・フィクスチャと、そのテスト・フィクスチャに設けられ被試験デバイスの機能に応じてテスタモジュールと被試験デバイス間の信号変換を行う測定モジュールと、そのテストシステムに搭載された上記テスタモジュールとシステムバスを介して通信することにより、システム全体の動作を制御するホストコンピュータと、により構成される半導体テストシステム。

Fターム (10件)：

2G132AA01 ,  2G132AA11 ,  2G132AB01 ,  2G132AC03 ,  2G132AE08 ,  2G132AE14 ,  2G132AE16 ,  2G132AE19 ,  2G132AE24 ,  2G132AL07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-201175
  
• IC試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-308961   出願人：株式会社アドバンテスト
• 試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-006227   出願人：横河電機株式会社