特許

J-GLOBAL ID：200903081098282845

原版保持装置およびこれを用いた露光装置

発明者： 千葉 裕司 ,  原 真一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044246
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213626
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】 露光装置等のマスクステージやマスク搬送装置を簡単化かつ小形化する。【解決手段】 露光光に対してキネマティックマウント方式のマスクEを位置決めするマスクステージは、ステージベース10と保持枠20を有し、両者の間の空間部にマスクEを水平に搬入し、保持枠20と一体である3個のボール21a〜21cとクランプユニット11a〜11cによってマスクEをクランプして固定する。マスクをマスクホルダに保持させて搬入し、これを介してマスクステージに固定する場合に比べて搬送重量が大幅に低減され、搬送装置やマスクステージの機構も簡略化かつ小形化できる。

請求項（抜粋）：

ステージベースと、該ステージベースとの間に原版収容空間を形成する筐体と、該筐体の前記原版収容空間に搬入された原版をこれに垂直なクランプ力によってクランプするクランプ手段を有し、前記筐体が、前記原版を前記原版収容空間の側傍からこれに搬入するための開口部を有することを特徴とする原版保持装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/62 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/30 503 D ,  G03B 27/62 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 N

引用特許：

審査官引用 (1件)

• マスク保持方法、マスク及びマスクチャック、ならびにこれを用いた露光装置とデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-299912   出願人：キヤノン株式会社