特許
J-GLOBAL ID：200903081113029272
マイクロ凹面配列をもつ光学デバイスおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-168092
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029601
出願日： 1994年07月20日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】微小な凹面を配列形成した、マイクロ凹面配列をもつ新規な光学デバイスを提供する。【構成】デバイス材料1の平滑な表面上にフォトレジスト2の層を形成してなる光学デバイス材料の、フォトレジスト2の層にフォトリソグラフィを行って、フォトレジスト2の表面に、微小な凹面形状を所望の配列に形成し、次いで、フォトレジスト2とデバイス材料1とに対し、等方性および/または異方性のエッチングを行うことにより、デバイス材料の表面形状として、微小凹面の配列を形成する。
請求項（抜粋）：
デバイス材料の平滑な表面上にフォトレジストの層を形成してなる光学デバイス材料の、上記フォトレジストの層にフォトリソグラフィを行って、上記フォトレジストの表面に、微小な凹面形状を所望の配列に形成し、次いで、上記フォトレジストとデバイス材料とに対し、等方性および/または異方性のエッチングを行うことにより、デバイス材料の表面形状として、微小凹面の配列を形成することを特徴とする、マイクロ凹面配列をもつ光学デバイスの製造方法。
引用特許：
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