特許
J-GLOBAL ID：200903081120638543
研磨液飛散防止機構付き平面研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200409
公開番号（公開出願番号）：特開平7-032263
出願日： 1993年07月20日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】 定盤から流れ落ちる研磨液の飛散を確実に防止することができると共に、ワークの供給時や取出時、保守点検時等の邪魔にならない、簡単な構成の飛散防止機構を得る。【構成】 定盤11の外周に、該定盤11を取り囲む短円筒状の研磨液飛散防止治具24を、定盤外周との間に所要の間隔Lを保った状態で一体に取り付け、定盤の周縁部から流れ落ちる研磨液を該防止治具24で受け止めて回収溝18内に落下させるようにした。
請求項（抜粋）：
水平面内で回転する定盤にワークを押し付け、研磨液を供給しながら該ワークを研磨加工する平面研磨装置において、上記定盤の外周に、該定盤を取り囲む短円筒状の研磨液飛散防止治具を、定盤外周との間に所要の間隔を保った状態で該定盤に一体に取り付けたことを特徴とする研磨液飛散防止機構付き平面研磨装置。
引用特許：
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