特許
J-GLOBAL ID：200903081149275229
フォトレジスト露光量の補正方法及びこれを用いた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-125971
公開番号（公開出願番号）：特開2001-307995
出願日： 2000年04月26日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：
【要約】【課題】 フォトレジストの露光感度の経時変化の影響を抑制し、所望の線幅のフォトレジストパターンを再現性良く得ること。【解決手段】 本発明のフォトレジスト露光量の補正方法は、次の手順1〜4からなる。まず、フォトレジストについて、露光感度の常温での経時変化を予め測定する(手順1)。続いて、実際の製造工程での露光時に、フォトレジストの常温での経過時間がどのくらいかを調べる(手順2)。調べた経過時間及び測定しておいた経時変化に基づき、露光時における露光感度を求める(手順3)。この変化した露光感度に基づき、露光量を補正する(手順4)。その露光量でフォトレジストを露光する(手順5)。これにより、露光感度の経時変化の影響が除去される。
請求項（抜粋）：
フォトレジストについて常温での経過時間と露光感度との関係を予め測定しておき、前記フォトレジストの露光時における常温での経過時間及び前記関係に基づき当該露光時における露光感度を求め、この露光感度に基づき当該露光時における露光量を補正する、フォトレジスト露光量の補正方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
G03F 7/20 521
, H01L 21/30 502 G
, H01L 21/30 516 D
5F046DA02
, 5F046DA29
, 5F046DD06
, 5F046JA21
, 5F046JA22
