周波数安定化光源

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061724
公開番号（公開出願番号）：特開2000-261092
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】光周波数安定度が短期及び長期に亘って高安定な周波数安定化光源を提供する。【解決手段】変調信号fによって変調されたレーザ光源1からのレーザ光は、第1の分光手段11aによって光吸収セル5に導かれて線形吸収分光され、その後に第1の光検出器12aで光電変換されるとともに、第2の分光手段11bによっても光吸収セル5に導かれて飽和吸収分光され、その後に第2の光検出器12bで光電変換される。第1及び第2の光検出器12a、12bからの出力は、それぞれ第1及び第2の増幅器30a、30bで増幅されて差動アンプ31へ入力される。その出力の差信号は、第1の制御手段4aで変調信号の3倍波で同期検波されるとともに、制御手段4bでも変調信号の1倍波で同期検波される。同期検波出力の一方は、第1及び第2の増幅器30a、30bのどちらかに帰還されてゲインを制御し、他方はレーザ制御器3に帰還されてレーザ光源1の注入電流を制御する。

請求項（抜粋）：

レーザ光源(1)および該レーザ光源からのレーザ光を変調する変調信号を出力する変調信号発生器(2)を含み変調されたレーザ光を出力する光源装置(10)と、前記レーザ光源から出力されるレーザ光の波長を制御するレーザ制御器(3)と、特定の光波長で光吸収特性を示すガスを封入した光吸収セル(5)と、前記変調されたレーザ光を前記光吸収セル中に導いて線形吸収を生じさせる第1の分光手段(11a)と、前記変調されたレーザ光を前記光吸収セル中に導いて飽和吸収を生じさせる第2の分光手段(11b)と、前記線形吸収を受けた光を受領して電気信号に変換する第1の光検出器(12a)と、前記飽和吸収を受けた光を受領して電気信号に変換する第2の光検出器(12b)と、前記第1の光検出器の信号を増幅する第1の増幅器(30a)と、前記第2の光検出器の信号を増幅する第2の増幅器(30b)と、前記第1の増幅器と前記第2の増幅器からの出力を受ける差動アンプ(31)と、前記差動アンプの出力の3次成分を前記変調信号発生器から出力された前記変調信号の3倍波で同期検波してその値を前記第1の増幅器および前記第2の増幅器のうち少なくとも一方のゲインを制御するために帰還する第1の制御手段(4a)と、前記差動アンプの出力の1次成分を前記変調信号発生器から出力された前記変調信号の1倍波で同期検波してその値を前記レーザ制御器に帰還する第2の制御手段(4b)とを含む周波数安定化光源。

Fターム (5件)：

5F073AB21 , 5F073BA02 , 5F073EA29 , 5F073GA13 , 5F073GA24

引用特許：

審査官引用 (3件)

周波数安定化光源
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-087777 出願人：株式会社ニコン
特開平4-133484
特開昭63-136682

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