プラズマリアクタにおける異常判定方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：落合健 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-139489
公開番号（公開出願番号）：特開2001-314749
出願日： 2000年05月12日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：

【要約】【課題】高価なガスセンサを必要とせずに、また実際にプラズマリアクタにガスを流すことなく、その異常をリアルタイムで判定できるようにする。【解決手段】排気ガスを浄化するプラズマリアクタ16は、電子制御ユニットUにより作動する昇圧部22から印加される交流により作動する。プラズマリアクタ16が劣化すると、それに印加される交流電圧の波形にスパイク状電圧が重畳されるが、スパイク状電圧が重畳した交流電圧をハイパスフィルター部27において濾波し、スパイク状電圧を検出することによりプラズマリアクタ16の異常を判定する。ハイパスフィルター部27の代わりに電圧比較部を設け、プラズマリアクタ16に印加される交流波形を基準波形と比較してスパイク状電圧を検出しても良い。

請求項（抜粋）：

相対向する電極(E1,E2)に交流を印加し、両電極(E1,E2)間のギャップ(G)を流れるガスにプラズマを発生させて改質を行うプラズマリアクタにおいて、前記交流の電圧または電流の波形の変化に基づいて異常判定を行なうことを特徴とするプラズマリアクタにおける異常判定方法。

IPC (4件)：

B01J 19/08 , F01N 3/08 , H05H 1/00 , H05H 1/24

FI (4件)：

B01J 19/08 E , F01N 3/08 C , H05H 1/00 A , H05H 1/24

Fターム (28件)：

3G091AA02 , 3G091AA17 , 3G091AA28 , 3G091AA29 , 3G091AB03 , 3G091AB12 , 3G091AB14 , 3G091BA14 , 3G091BA19 , 3G091BA20 , 3G091BA31 , 3G091BA34 , 3G091DB10 , 3G091DB16 , 3G091EA01 , 3G091EA06 , 3G091EA26 , 3G091EA27 , 3G091EA28 , 3G091FA06 , 3G091FA07 , 3G091HA07 , 4G075AA37 , 4G075AA65 , 4G075BA01 , 4G075BA05 , 4G075DA01 , 4G075EB42

引用特許：

審査官引用 (4件)

コロナ放電反応装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-241897 出願人：株式会社日立製作所
放電加工機の放電状態検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-189351 出願人：三菱電機株式会社
異常放電検出方法及びプラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-034255 出願人：東京エレクトロン株式会社

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