軟磁性薄膜

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-235537
公開番号（公開出願番号）：特開平7-003489
出願日： 1993年08月27日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：

【要約】【目的】 0.5Oe以下、特に0.3Oe以下、さらには0.2Oe以下の低保磁力を有し、かつ飽和磁束密度の高い軟磁性薄膜を提供する。【構成】 CoとNiとFeとを含有し、面心立方晶相からなり、X線回折における面心立方晶(200)面のピーク強度および面心立方晶(111)面のピーク強度をそれぞれI(200)およびI(111)としたとき、0.1≦I(200)/I(111)≦0.2である軟磁性薄膜。CoとNiとFeとを含有し、面心立方晶相を主とし、微量の体心立方晶相を含み、X線回折における体心立方晶(110)面のピーク強度をI(110)としたとき、I(200)/I(111)≧0.1かつI(110)/I(111)≦0.1である軟磁性薄膜。

請求項（抜粋）：

CoとNiとFeとを含有し、面心立方晶相からなり、X線回折における面心立方晶(200)面のピーク強度および面心立方晶(111)面のピーク強度をそれぞれI(200)およびI(111)としたとき、0.1≦I(200)/I(111)≦0.2であることを特徴とする軟磁性薄膜。

IPC (5件)：

C25D 3/56 , C25D 5/50 , G11B 5/31 , H01F 10/16 , H01F 41/26

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-076642
特開平1-008605
磁性積層体および磁気抵抗効果素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-354673 出願人：ティーディーケイ株式会社

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