CCDカメラによる正反射式表面性状測定方法及びその装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-317303
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099632
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】主として正反射を起こす粗面物体の表面性状を、より具体的には、従来の粗さのパラメータRaに加えて、表面の凸凹の方向性、表面反射率、色調、むら、傷などを非接触で定量的かつ高精度で、簡易に測定可能な表面性状測定方法及びその装置を提供することを目的とする。【解決手段】光源3により基準パターン2を照明し、その基準パターンを粗面物体1の表面に投影してその背後に正反射による虚像4をCCDカメラ5で撮影し、その反射像4を形成する撮像素子が受けた光の強度(映像信号6)をコンピュータ8で画像処理することにより、反射像4のゆらぎを示す輝度分布に変換し、この分布の統計量を輝度値の振幅量として捉えて、そのゆらぎである標準偏差を算出し、予め計測した上記粗面物体1の表面粗さRaを横軸に、上記標準偏差を縦軸にプロットすれば、強い相関線図を得る。この相関線図から粗面物体1の表面凸凹の粗さ、方向性などの表面性状の諸情報が得られる。

請求項（抜粋）：

粗面物体の表面性状を測定する方法において、主として正反射を起こす面を有する粗面物体の表面に基準パターンを投影して該基準パターンの反射像のゆらぎを結像し、該反射像のゆらぎをCCDカメラで撮影し、該CCDカメラの映像信号を画像処理することにより前記反射像のゆらぎの輝度分布および該反射像のゆらぎの大きさを算出し、その値から粗面物体の表面性状を求めることを特徴とする粗面物体の表面性状測定方法。

IPC (5件)：

G01B 11/30 102 , G01B 11/24 , G01B 11/25 , G01N 21/892 , G06T 7/00

FI (5件)：

G01B 11/30 102 Z , G01N 21/892 B , G01B 11/24 K , G01B 11/24 E , G06F 15/62 400

Fターム (42件)：

2F065AA49 , 2F065AA50 , 2F065BB26 , 2F065CC06 , 2F065FF42 , 2F065FF61 , 2F065FF63 , 2F065GG03 , 2F065HH06 , 2F065HH12 , 2F065HH17 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065LL41 , 2F065QQ03 , 2F065QQ17 , 2F065QQ41 , 2F065QQ42 , 2G051AA37 , 2G051AB07 , 2G051AB20 , 2G051BA01 , 2G051BA20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA09 , 2G051EA12 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 2G051EC06 , 5B057BA02 , 5B057BA11 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC23 , 5B057DC30 , 5B057DC33

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭61-075236
特開昭61-075236
特開昭61-075236

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