特許

J-GLOBAL ID：200903081204022696

投影露光装置及び投影露光方法

発明者： 小谷 一葉
出願人/特許権者： 株式会社目白プレシジョン
代理人 (2件)： 津国 肇 ,  柳橋 泰雄
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2007059466
公開番号（公開出願番号）：WO2007-129688
出願日： 2007年05月07日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：

ステージの位置を測定するための干渉計等の位置測定装置を用いることなく、基板を的確な位置に位置づけることができる投影露光装置及び投影露光方法を提供する。 基準基板に形成された基準基板基準マークの位置に基づいて、載置台の位置の誤差を補正するための載置台位置補正データを演算し、載置台位置補正データと、露光基板に形成された露光基板基準マークの位置とに基づいて、露光基板基準マークの位置の線形成分の誤差を補正するための線形誤差補正データを、最小二乗法を用いて演算する。

請求項（抜粋）：

パターンが形成されたレチクルに露光光を照射して、前記パターンの像を露光基板に投影する投影露光装置であって、 基板が載置される載置台を、少なくとも4つの所定の位置に移動させて位置づける駆動ステージと、 前記駆動ステージに設けられ、かつ、前記載置台の位置を示す位置信号を出力する位置信号出力手段と、 前記露光基板に形成された露光基板基準マーク、又は露光可能な基準基板に形成された基準基板基準マークを検出する基準マーク検出手段と、 前記位置信号が示す位置に基づいて、前記載置台の位置を決定するための位置決定手段と、を含み、 前記露光基板基準マークは、前記露光基板の基準位置を示すための少なくとも4つのマークからなり、 前記基準基板基準マークは、前記基準基板の基準位置を示すための少なくとも4つのマークからなり、 前記位置決定手段は、 前記載置台を移動させたときに生ずる前記載置台の位置の誤差を補正するための第1の位置補正手段と、 前記露光基板基準マークの位置の誤差のうちの線形成分の誤差を補正するための第2の位置補正手段と、を含み、 前記第1の位置補正手段は、 前記基準基板が前記基板として前記載置台に載置されたときに、前記駆動ステージによって、少なくとも3つ以上の所定の基準基板検出位置に前記載置台を順次移動させて位置づける基準基板位置制御手段と、 前記基準基板検出位置の各々における前記載置台の位置を、前記位置信号から得て記憶する基準基板位置記憶手段と、 前記基準基板検出位置の各々において、基準レチクルに露光光を照射して、前記基準レチクルに形成されたレチクル基準マークを前記基準基板に投影して、前記基準基板に前記レチクル基準マークの像を形成する基準基板露光手段と、 前記基準基板に形成された前記レチクル基準マークの像と前記基準基板基準マークとを、前記基準マーク検出手段によって検出し、検出結果に基づいて前記レチクル基準マークの像及び前記基準基板基準マークの相対位置を算出し、前記相対位置と前記載置台の位置とに基づいて、前記載置台の位置の誤差を補正するための載置台位置補正データを演算し記憶する基準基板位置補正演算記憶手段と、を含み、 前記第2の位置補正手段は、 前記露光基板が前記基板として前記載置台に載置されたときに、前記載置台位置補正データに基づいて定められた少なくとも3つ以上の所定の露光基板検出位置に、前記駆動ステージによって、前記載置台を順次移動させて位置づける露光基板位置制御手段と、 前記露光基板検出位置の各々における前記載置台の位置を、前記位置信号から得て記憶する露光基板位置記憶手段と、 前記露光基板検出位置の各々において、前記基準マーク検出手段によって前記露光基板基準マークを検出して、その検出結果と前記載置台の位置とに基づいて前記露光基板基準マークの位置を算出して記憶する露光基板基準マーク位置記憶手段と、 前記露光基板基準マーク位置記憶手段に記憶された前記露光基板基準マークの位置に基づいて、前記線形成分の誤差を補正するための線形誤差補正データを、最小二乗法を用いて演算する線形誤差補正演算手段と、を含むことを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F9/00 A ,  H01L21/30 525W

Fターム (21件)：

2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097GB01 ,  2H097GB04 ,  2H097KA03 ,  2H097KA12 ,  2H097KA13 ,  2H097KA20 ,  2H097KA29 ,  2H097LA09 ,  5F046BA04 ,  5F046BA07 ,  5F046CC01 ,  5F046CC04 ,  5F046CC13 ,  5F046EB01 ,  5F046EB02 ,  5F046EB08 ,  5F046ED01 ,  5F046FC04 ,  5F046FC06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-122509   出願人：株式会社目白プレシジョン