セラミック積層体の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋祥泰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-218419
公開番号（公開出願番号）：特開2003-205511
出願日： 2002年07月26日
公開日（公表日）： 2003年07月22日
要約：

【要約】【課題】積層前に発生するグリーンシート片の折れ,しわ,割れ,乾燥収縮等に起因した欠陥を内在しないセラミック積層体の製造方法を提供すること。【解決手段】キャリアフィルム12上にセラミックス原料を配置してグリーンシート11を形成するシート形成工程と,上記グリーンシート11から所定形状のグリーンシート片を打ち抜く打抜き工程と,上記グリーンシート片を積層して積層体を得る積層工程と,上記積層体を焼成してセラミック層を複数枚積層してなるセラミック積層体を得る焼成工程とを含み,上記打抜き工程においては上記キャリアフィルム12上に上記グリーンシート11を保持した状態で,上記グリーンシート片のみを打ち抜く。

請求項（抜粋）：

キャリアフィルム上にセラミックス原料を配置してグリーンシートを形成するシート形成工程と,上記グリーンシートから所定形状のグリーンシート片を打ち抜く打抜き工程と,上記グリーンシート片を積層して積層体を得る積層工程と,上記積層体を焼成してセラミック層を複数枚積層してなるセラミック積層体を得る焼成工程とを含み,上記打抜き工程においては上記キャリアフィルム上に上記グリーンシートを保持した状態で,上記グリーンシート片のみを打ち抜くことを特徴とするセラミック積層体の製造方法。

IPC (5件)：

B28B 11/12 , B28B 11/00 , H01G 4/30 311 , H01L 41/083 , H01L 41/22

FI (5件)：

B28B 11/12 , H01G 4/30 311 Z , B28B 11/00 Z , H01L 41/08 S , H01L 41/22 Z

Fターム (18件)：

4G055AA08 , 4G055AC01 , 4G055AC09 , 4G055BA22 , 4G055BA65 , 5E082AB03 , 5E082BC38 , 5E082EE04 , 5E082EE35 , 5E082FG06 , 5E082FG26 , 5E082FG54 , 5E082LL01 , 5E082LL02 , 5E082MM13 , 5E082MM22 , 5E082PP08 , 5E082PP09

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-053030
セラミックグリーンシートの積層方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-324500 出願人：株式会社村田製作所
特開平4-002196

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