特許

J-GLOBAL ID：200903081210568919

離型用積層フィルム

発明者： 西尾 欣彦
出願人/特許権者： 三菱樹脂株式会社
代理人 (1件)： 松井 光夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260208
公開番号（公開出願番号）：特開2002-067240
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：

【要約】【課題】 取り扱い性がよく、プレス板からの剥離性に優れる離型用多層フィルムを提供する。【解決手段】ASTM D882に従い測定されたフィルム横方向の引張り弾性率が980〜6,860 N/mm2である支持フィルムの片面に、フッ素樹脂から成るフィルムを積層されてなる積層フィルムであって、該支持フィルムの該片面とは反対側の表面の、JIS B0 601に従い測定された10点平均表面粗さ(Rz)が3.0μm 〜8.0μmであり、且つ、山数(Pc)が200 〜400個であることを特徴とする離型用積層フィルム。

請求項（抜粋）：

ASTM D882に従い測定されたフィルム横方向の引張り弾性率が980〜6,860 N/mm2である支持フィルムの片面に、フッ素樹脂から成るフィルムを積層されてなる積層フィルムであって、該支持フィルムの該片面とは反対側の表面の、JIS B0 601に従い測定された10点平均表面粗さ(Rz)が3.0μm 〜8.0μmであり、且つ、山数(Pc)が200 〜400個であることを特徴とする離型用積層フィルム。

IPC (4件)：

B32B 27/30 ,  B32B 27/00 ,  B32B 27/36 ,  H05K 1/03 610

FI (4件)：

B32B 27/30 D ,  B32B 27/00 L ,  B32B 27/36 ,  H05K 1/03 610 G

Fターム (29件)：

4F100AG00 ,  4F100AK01A ,  4F100AK04B ,  4F100AK04C ,  4F100AK07C ,  4F100AK17B ,  4F100AK18B ,  4F100AK41A ,  4F100AK41C ,  4F100AL01B ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100DH01 ,  4F100EJ08 ,  4F100EJ082 ,  4F100EJ17 ,  4F100EJ172 ,  4F100EJ34 ,  4F100EJ341 ,  4F100EJ42 ,  4F100EJ422 ,  4F100GB43 ,  4F100JK06 ,  4F100JK07A ,  4F100JK14A ,  4F100YY00A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体ウエハ貼着用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-341495   出願人：ダイアホイルヘキスト株式会社
• 特開平3-159739