特許
J-GLOBAL ID：200903081211389279

ヒーター

発明者：
古川 正和

古川 正和 について


出願人/特許権者：
イビデン株式会社

イビデン株式会社 について


代理人 (1件)： 小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-192589
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052843
出願日： 1997年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 温度制御しやすく、薄くて軽いヒーターを提供する。【解決手段】 金属窒化物セラミックまたは金属炭化物セラミックからなる板状体に対し、熱電対埋め込み用凹部を設けると共に、その表面に、金属粒子を焼結して形成した発熱体を設ける。その発熱体には金属粒子だけではなく、金属酸化物を含有してもよく、その表面をニッケル層などで被覆してもよい。
請求項（抜粋）：
窒化物セラミックまたは炭化物セラミックからなる板状体の表面に金属粒子を焼結して形成した発熱体が設けられていると共に、この板状体には凹部が形成されていることを特徴とするヒーター。
IPC (6件)：
H05B 3/20 328 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/12 ,  H05B 3/16
FI (6件)：
H05B 3/20 328 ,  H01L 21/68 N ,  H05B 3/10 C ,  H05B 3/12 A ,  H05B 3/16 ,  H01L 21/30 567
引用特許：
審査官引用 (5件)
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