特許
J-GLOBAL ID：200903081224370887
マスク検査光源、波長変換方法及びマスク検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-129811
公開番号（公開出願番号）：特開2008-286889
出願日： 2007年05月15日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】マスク検査光源に利用できるような十分なパワーのDUVレーザ光を供給できるマスク検査光源を提供すること。【解決手段】本発明の一態様に係るマスク検査光源101'は、レーザ光を発生するモードロック型チタンサファイアレーザ発振器111と、モードロック型チタンサファイアレーザ発振器111から発生するレーザ光を連続動作のグリーンレーザ光で励起させるチタンサファイア再生増幅器112とを備えるレーザ装置と、レーザ装置から取り出されるレーザ光の第四高調波を発生する波長変換装置とを有するものである。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
レーザ光を発生するモードロック型チタンサファイアレーザ発振器と、前記モードロック型チタンサファイアレーザ発振器から発生するレーザ光を連続動作のグリーンレーザ光で励起させるチタンサファイア再生増幅器とを備えるレーザ装置と、
前記レーザ装置から取り出されるレーザ光の第四高調波を発生する波長変換部とを有するマスク検査光源。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2K002AA07
, 2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA02
, 2K002DA01
, 2K002HA19
