特許
J-GLOBAL ID:200903080261157542
CW深紫外線光源
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
園田 吉隆
, 小林 義教
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-259075
公開番号(公開出願番号):特開2006-073970
出願日: 2004年09月06日
公開日(公表日): 2006年03月16日
要約:
【課題】 レーザーヘッド部の小型化を実現した紫外線レーザー装置を提供する。【解決手段】 少なくとも2つのレーザー光を用いて和周波混合により、波長200nm以下のCWレーザー光を発生させる装置であって、前記少なくとも2つのレーザー光のうち、少なくとも一方のレーザー光はファイバーレーザーである装置を提供する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
2つのレーザー光を非線形光学結晶により和周波混合を行い、紫外域波長のCWレーザー光を発生させる装置であって、前記2つのレーザー光のうち、少なくとも一方のレーザー光はファイバーレーザーである装置。
IPC (3件):
H01S 3/108
, G02F 1/37
, H01S 3/06
FI (3件):
H01S3/108
, G02F1/37
, H01S3/06 B
Fターム (10件):
2K002AA07
, 2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002HA20
, 5F172AD02
, 5F172AM08
, 5F172CC04
, 5F172NP02
, 5F172NQ09
, 5F172NQ62
引用特許:
出願人引用 (1件)
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波長変換装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-054119
出願人:サイバーレーザー株式会社
審査官引用 (13件)
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光源装置及び光照射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-162004
出願人:株式会社ニコン
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波長変換装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-054119
出願人:サイバーレーザー株式会社
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光源装置及び光照射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-359428
出願人:株式会社ニコン
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