特許
J-GLOBAL ID:200903080261157542

CW深紫外線光源

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-259075
公開番号(公開出願番号):特開2006-073970
出願日: 2004年09月06日
公開日(公表日): 2006年03月16日
要約:
【課題】 レーザーヘッド部の小型化を実現した紫外線レーザー装置を提供する。【解決手段】 少なくとも2つのレーザー光を用いて和周波混合により、波長200nm以下のCWレーザー光を発生させる装置であって、前記少なくとも2つのレーザー光のうち、少なくとも一方のレーザー光はファイバーレーザーである装置を提供する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
2つのレーザー光を非線形光学結晶により和周波混合を行い、紫外域波長のCWレーザー光を発生させる装置であって、前記2つのレーザー光のうち、少なくとも一方のレーザー光はファイバーレーザーである装置。
IPC (3件):
H01S 3/108 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/06
FI (3件):
H01S3/108 ,  G02F1/37 ,  H01S3/06 B
Fターム (10件):
2K002AA07 ,  2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002HA20 ,  5F172AD02 ,  5F172AM08 ,  5F172CC04 ,  5F172NP02 ,  5F172NQ09 ,  5F172NQ62
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 波長変換装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-054119   出願人:サイバーレーザー株式会社
審査官引用 (13件)
全件表示

前のページに戻る