特許
J-GLOBAL ID:200903081225197666
塗布装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
北原 康廣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-091749
公開番号(公開出願番号):特開2007-117987
出願日: 2006年03月29日
公開日(公表日): 2007年05月17日
要約:
【課題】高粘度の塗液であっても、スループットを低下させることなく、ダイヘッドに塗液を供給可能な塗布装置を提供すること。【解決手段】30°Cにおける粘度が1.0〜2.0Pa・sである塗液を定量ポンプによりタンクから配管を通してダイヘッドに供給し、そのダイヘッドに対し相対移動する基材にダイヘッドのスリット先端から塗液を1〜5L/mの流量で吐出して塗膜を形成する塗布装置である。ダイヘッドの上流側には塗液を濾過するフィルターを有しており、ダイヘッド入口における塗液圧力が1MPa以下となるように、配管の内径及び長さを、それぞれ20〜25mmと4.0〜6.0mに設定した。【選択図】図1
請求項(抜粋):
30°Cにおける粘度が1.0〜2.0Pa・sである塗液を定量ポンプによりタンクから配管を通してダイヘッドに供給し、そのダイヘッドに対し相対移動する基材にダイヘッドのスリット先端から塗液を1〜5L/mの流量で吐出して塗膜を形成する塗布装置であって、
ダイヘッドの上流側には塗液を濾過する濾過装置を有しており、
ダイヘッド入口における塗液圧力が1MPa以下となるように、配管の内径及び長さを、それぞれ20〜25mmと4.0〜6.0mに設定してなる塗布装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (14件):
4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041CA02
, 4F041CA12
, 4F041CA15
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AA10
, 4F042BA07
, 4F042BA15
, 4F042BA25
, 4F042CB02
, 4F042CB19
, 4F042CB25
引用特許:
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