マイクロミラー装置、およびミラー部形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松岡修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-266190
公開番号（公開出願番号）：特開2009-093105
出願日： 2007年10月12日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：

【課題】ミラー部の軽量化を実現しつつも当該ミラー部の実用上必要な強度や剛性を確保する。【解決手段】光源からの光を走査光として反射するミラー部を備え、当該ミラー部の中央部の膜厚が当該ミラー部の周辺部の膜厚よりも薄くなるよう形成されたマイクロミラー装置を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光を走査するマイクロミラー装置において、光源からの光を走査光として反射するミラー部を備え、前記ミラー部の中央部の膜厚が当該ミラー部の周辺部の膜厚よりも薄くなるよう形成されたこと、を特徴とするマイクロミラー装置。

IPC (2件)：

G02B 26/10 , H04N 1/036

FI (2件)：

G02B26/10 104Z , H04N1/036 Z

Fターム (12件)：

2H045AB16 , 2H045AB72 , 5C051AA02 , 5C051CA07 , 5C051DA01 , 5C051DB02 , 5C051DB24 , 5C051DB30 , 5C051DC02 , 5C051DC04 , 5C051DC05 , 5C051DC07

引用特許：

出願人引用 (1件)

審査官引用 (5件)

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