特許

J-GLOBAL ID：200903081265597047

感光性樹脂組成物

発明者： 林 伸之 ,  町田 裕幸 ,  谷 元昭
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-028912
公開番号（公開出願番号）：特開平10-228107
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 調製が簡単、銅、銅合金等の配線との接触で剥離等の異常反応がなく、現像が安全、かつ膜減りの少ない低コストな感光性樹脂組成物を得ること。【解決手段】 下記一般式(1)【化1】(R1 は4価の脂肪族基又は脂環式基、R2 は2価の芳香族基、脂肪族基、脂環式基又はオルガノシロキサン基で、テトラカルボン酸又はその無水物とジアミンとの環化重縮合で合成)で表される化合物の繰り返し単位からなるポリイミド前駆体と、エポキシ系重合性不飽和化合物と、3つ以上の重合性不飽和基を持つ重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とを含む組成物に、テトラゾール等の銅イオン反応抑制剤を添加した感光性樹脂組成物により目的が達成できる。

請求項（抜粋）：

一般式(1) 【化1】(但し、式中のR1 は4価の脂肪族基、または脂環式基、R2 は2価の芳香族基、脂肪族基、脂環式基、或いはオルガノシロキサン基であって、テトラカルボン酸、またはその無水物とジアミンとからなる環化重縮合により合成される。)で表される化合物の繰り返し単位を有するポリイミド前駆体を主成分とする組成物に、銅イオン反応抑制剤が添加されていることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (7件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ポリイミド系樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-116336   出願人：日本ゼオン株式会社, 富士通株式会社
• 特開平2-228359