複合電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-063728
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343294
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は複合電子顕微鏡に関し、SEM/STEM像とTEM像との対応を正確にとることができる複合電子顕微鏡を提供することを目的としている【解決手段】SEM/STEM像とTEM像を観察することができる複合電子顕微鏡であって、SEM/STEM像の回転角にTEM像を合わせるためのSEM/STEM像の回転角と、TEMの倍率と結像系レンズに流す電流値が記憶された第1の記憶手段44と、TEM像の回転角にSEM/STEM像を合わせるためのTEM像の倍率と回転角とが記憶された第2の記憶手段45と、前記第1又は第2の記憶手段に記憶されているデータに基づいて表示モードに応じた倍率と回転角の補正を行なうコンピュータ40と、該コンピュータ40により補正された画像を表示する表示手段35とを具備して構成される。

請求項（抜粋）：

走査型電子顕微鏡(SEM)モード/走査透過型電子顕微鏡(STEM)モード及び透過型電子顕微鏡(TEM)モードとを備え、SEM/STEM像とTEM像を観察することができる複合電子顕微鏡であって、走査型電子顕微鏡(SEM)モード/走査透過型電子顕微鏡(STEM)モードのための走査手段と、TEM像の倍率とその倍率における像の回転角とが記憶された記憶手段と、前記記憶手段に記憶されているデータに基づいて走査型電子顕微鏡(SEM)モード/走査透過型電子顕微鏡(STEM)モードにおけるSEM/STEM像をTEM像の回転角に合わせるための補正を行なうコンピュータと、該コンピュータにより補正された画像を表示する表示手段とを具備して構成される複合電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/28 , H01J 37/26

FI (3件)：

H01J 37/28 B , H01J 37/28 C , H01J 37/26

Fターム (4件)：

5C033SS07 , 5C033SS09 , 5C033UU05 , 5C033UU06

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-157942
特開昭58-075748
特開平2-152154

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