形状観察装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302152
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162059
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】試料の欠陥表面及び内部の両者の情報を含む欠陥形状の画像を得ることができる形状観察装置を得る。【構成】試料1上の欠陥を観察する電子顕微鏡3及び光学顕微鏡5と、電子顕微鏡及び光学顕微鏡による画像をそれぞれ記憶する画像メモリ7及び8と、その画像メモリ8に蓄えられた光学顕微鏡5による画像を加工する画像処理装置9と、電子顕微鏡3及び光学顕微鏡5による画像の拡大倍率が等しくなるように倍率調整すると共に両者の画像の位置関係が一致するように位置調整して同一表示画面上に重ね合わせる画像重ね合わせ装置10とを備えた。

請求項（抜粋）：

試料上の欠陥を観察する電子顕微鏡及び光学顕微鏡と、この電子顕微鏡及び光学顕微鏡による画像の拡大倍率が等しくなるように倍率調整すると共に両者の画像の位置関係が一致するように位置調整して同一表示画面上に重ね合わせる画像重ね合わせ装置とを備えた形状観察装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 502 , G06T 7/00 , G06T 5/00

FI (2件)：

G06F 15/62 405 A , G06F 15/68 310 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭58-042151
形態観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-130966 出願人：株式会社トプコン
特開昭61-096644

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審査官引用 (2件)

特開昭58-042151
形態観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-130966 出願人：株式会社トプコン

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