特許

J-GLOBAL ID：200903081283310472

電流分布および光学モ-ドの分離制御可能なVCSEL

発明者： ドナルド・イ-・アックレイ ,  チャン・ロング・シ-
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207008
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112587
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は電流分布および光学モ-ドを分離制御可能な新規で改良されたVCSELを提供することを目的とする。【構成】 上部ミラ-・スタック12,18上に配置される材料と共にメサ型領域から形成するためエッチングされる上部ミラ-・スタックを有する基板上に形成されるVCSEL15であって、その上部ミラ-・スタックはレ-ザ内において電流分布を制御するため電気的コンタクト・ウィンドウを限定する光学的に透明な電導性材料を含み、所定のミラ-反射率特性を与えるように選択される光学的厚さと共にメサ型領域の表面上に配置される材料であって、メサのエッジには依存しない光学モ-ドを制御する材料を含み、その結果電流と光学モ-ドとを別々に制御することが可能になる。

請求項（抜粋）：

光学モ-ドを制御する縦型空洞表面放出レ-ザを形成する方法であって、基板(30)を提供する段階;前記基板(30)上にミラ-の第1パラレル・スタック(32)を形成する段階;前記第1パラレル・ミラ-・スタック(32)上にアクティブおよびスペ-サ層(35)を形成する段階;前記アクティブおよびスペ-サ層(35)上に第2パラレル・ミラ-・スタック(38)を形成する段階;および前記レ-ザの光学モ-ドを制御するため所定の反射率特性を与える光学的厚さを有する材料(44,46)を前記第2パラレル・ミラ-・スタック(38)上に堆積する段階;から構成されることを特徴とする縦型空洞表面放出レ-ザを形成する方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-302085
  
• 面発光レーザ装置とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-083842   出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
• 特許第5115441号
  
• 特開平2-302085