超純水の比抵抗調整装置及び調整方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-330944
公開番号（公開出願番号）：特開2000-159504
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】超純水に気体透過膜を介して炭酸ガスまたはアンモニアガスを付加し、比抵抗値の調整された超純水を製造する際、従来は生成水の比抵抗値を測定しながら供給水または供給ガスの流量を調整していたが、生成水の消費量に変動がある場合に、一定範囲の比抵抗値の超純水を安定して供給するのが困難で、それを達成するには装置の高機能化を要し容易でなく、コスト上も問題である。【解決手段】消費量に応じて供給される超純水原水を、分配装置によって流量に大小のある2流に一定比率で分流し、一方の流れを気体分離膜モジュールに供給して、炭酸ガスまたはアンモニアガスを、そのガス圧と水温によって決まる平衡濃度の90%以上のほぼ一定濃度まで溶解させ、その炭酸ガスまたはアンモニアガス付加水を大流量に分けられた原水へ合流させて均一に混合させる方法により、超純水原水に流量変動が存在しても、比抵抗値を一定に保つことができる。特別な自動制御装置を必要としない。装置の小型化、簡略化、運転コストの削減が可能。

請求項（抜粋）：

ハウジング内に気体透過膜が配設され、それを境界として超純水通過部と炭酸ガスまたはアンモニアガス通過部が形成されたハウジングを有する膜モジュールを備え、前記超純水通過部と連絡する超純水原水入口と、それらを連絡する中間部に設けられた分配部を備え、前記超純水通過部と連絡する比抵抗調整超純水出口と、それらを連絡する中間部に設けられた合流部を備え、前記分配部と前記合流部とを連絡するバイパス流路を備え、前記分配部が前記超純水原水入口から入れられる超純水原水を前記超純水通過部とバイパス流路とに定率流量比で分配し、前記気体透過膜が、前記超純水通過部を通過する超純水原水に炭酸ガスまたはアンモニアガスを、そのガス圧と水温によって定まる平衡濃度の90%以上のほぼ一定の濃度まで溶解させる能力を有するものである、超純水の比抵抗調整装置。

IPC (2件)：

C01B 5/00 , H01L 21/304 648

FI (2件)：

C01B 5/00 Z , H01L 21/304 648 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

超純水の比抵抗調整方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-215932 出願人：三菱レイヨン株式会社
特開昭60-153990
特開昭55-167010

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