III族窒化物結晶成長装置およびIII族窒化物結晶成長方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：植本雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-090588
公開番号（公開出願番号）：特開2003-286099
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月07日
要約：

【要約】【課題】反応容器外からIII族金属を含む物質を反応容器内へ供給する場合に、反応容器内へのIII族金属を含む物質の供給口におけるIII族金属とアルカリ金属との金属間化合物の形成(凝集)を防止し、III族窒化物結晶を安定して結晶成長させる。【解決手段】混合融液24からのアルカリ金属の蒸気が供給手段(31)の供給口32に存在しないようにするため、本発明では、混合融液24と供給手段(31)の供給口32との間に混合融液24の温度よりも高い温度領域を設定可能になっている。

請求項（抜粋）：

反応容器内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液を形成し、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質とから、III族金属と窒素とから構成されるIII族窒化物を結晶成長させるIII族窒化物結晶成長装置であって、反応容器外から少なくともIII族金属を含む物質を反応容器内へ供給する供給手段を具備し、少なくともIII族金属を含む物質は、前記供給手段の供給口から反応容器内へ供給されるようになっており、混合融液からのアルカリ金属の蒸気が供給手段の供給口に存在しないようにするため、混合融液と前記供給手段の供給口との間に混合融液の温度よりも高い温度領域を設定可能になっていることを特徴とするIII族窒化物結晶成長装置。

IPC (3件)：

C30B 29/38 , C30B 9/10 , H01L 33/00

FI (3件)：

C30B 29/38 D , C30B 9/10 , H01L 33/00 C

Fターム (13件)：

4G077AA02 , 4G077BE15 , 4G077CD05 , 4G077EG15 , 4G077EG22 , 4G077EH07 , 5F041AA03 , 5F041AA04 , 5F041CA40 , 5F041CA63 , 5F041CA67 , 5F041FF13 , 5F041FF16

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