特許
J-GLOBAL ID：200903081310109466

振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置

発明者：
森 章

森 章 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-306428
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114127
出願日： 2001年10月02日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 電極形成が容易で、しかも組立工数も少なくて済む振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置を提供する。【解決手段】 圧電体からなる柱状の振動体2の表面に設けられた平面部2aに、その長手方向に沿って形成された駆動電極3と2つの検出電極4、5を備え、しかもそれらが歯の方向が振動体の長手方向に直交する櫛歯電極を互いに対向させてなる交差指電極部となっている。【効果】 振動子の低コスト化と性能の安定化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
圧電体からなる柱状の振動体と、該振動体の表面にその長手方向に沿って形成された駆動電極、およびそれぞれ該駆動電極に隣接して形成された2つの検出電極とを備え、前記駆動電極と前記検出電極は、歯の方向が前記振動体の長手方向に直交する櫛歯電極を互いに対向させてなる交差指電極部を有することを特徴とする振動子。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 U
Fターム (6件)：
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB15 ,  2F105CC06 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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