特許
J-GLOBAL ID：200903081310671563
ガラスセラミックスおよびその製造方法並びにそれを用いた配線基板
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-315381
公開番号（公開出願番号）：特開2002-128564
出願日： 2000年10月16日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】誘電損失が低く、高強度、高熱伝導率で、誘電率および熱膨張係数の調整が容易にできるガラスセラミックスを提供する。【解決手段】ガラスおよび/またはそれが結晶化したマトリックス中に特定の結晶面方向に配向したセラミックフィラーを分散し、該フィラーの配向方向と垂直な面と平行な面で測定されるX線回折ピークを比較して、前記フィラーに基づく(hk0)面および(00l)面(ただし、h≧0、k≧0で、h、kの一方が1以上の整数、lは1以上の整数)のピークのうち、2つの測定面でのピーク強度の変化が最も大きい特定結晶面のピーク強度I(hk0)、I(00l)から、p=I(00l)/(I(hk0)+I(00l))で求められる2つの測定面でのp1、p2の比(p1/p2、但しp1>p2)が2以上、かつ一方の測定面から0.1mm研磨した研磨面でのp’値との比(p’/p)が0.8以上のガラスセラミックスを配線基板1の絶縁基板2とする。
請求項（抜粋）：
ガラスおよび/またはそれが結晶化したマトリックス中にセラミックフィラーを分散したガラスセラミックスであって、該ガラスセラミックス中の前記セラミックフィラーが特定の結晶面方向に配向し、該配向方向と垂直な面で測定されるX線回折ピークと前記配向方向と平行な面で測定されるX線回折ピークとを比較したとき、前記セラミックフィラーに基づく(hk0)結晶面および(00l)結晶面(ただし、h≧0、k≧0で、hまたはkのいずれか一方が1以上の整数、lは1以上の整数)のピークのうち、前記2つの測定面でのピーク強度の変化が最も大きい特定の(hk0)結晶面のピーク強度I(hk0)、および前記2つの測定面でのピーク強度の変化が最も大きい特定の(00l)結晶面のピーク強度I(00l)から、以下の式により求められる前記2つの測定面でのp値、p1、p2p=I(00l)/(I(hk0)+I(00l))の比(p1/p2、但しp1>p2)が2以上であり、かつ前記2つの測定面のうちの一方の測定面から0.1mm研磨した研磨面におけるX線回折ピークから求められるp’値との比(p’/p)が0.8以上であることを特徴とするガラスセラミックス。
IPC (8件)：
C04B 35/195
, C03B 19/06
, H01L 23/12
, H01L 23/15
, H05K 1/02
, H05K 1/03 610
, H05K 1/09
, H05K 3/46
C03B 19/06 A
, C03B 19/06 C
, H05K 1/02 F
, H05K 1/03 610 D
, H05K 1/09 A
, H05K 3/46 H
, H05K 3/46 T
, H05K 3/46 S
, C04B 35/18 B
, H01L 23/12 D
, H01L 23/14 C
4E351AA07
, 4E351BB24
, 4E351BB31
, 4E351CC12
, 4E351CC31
, 4E351DD04
, 4E351DD05
, 4E351DD06
, 4E351DD51
, 4E351DD58
, 4E351EE03
, 4E351GG01
, 4E351GG04
, 4E351GG07
, 4G030AA05
, 4G030AA07
, 4G030AA08
, 4G030AA09
, 4G030AA10
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030BA09
, 4G030BA12
, 4G030BA20
, 4G030BA21
, 5E338AA03
, 5E338AA18
, 5E338BB05
, 5E338BB13
, 5E338BB75
, 5E338CC01
, 5E338CC08
, 5E338CD11
, 5E338EE02
, 5E346AA12
, 5E346AA15
, 5E346AA24
, 5E346AA38
, 5E346AA43
, 5E346BB01
, 5E346CC18
, 5E346DD11
, 5E346EE21
, 5E346FF18
, 5E346GG02
, 5E346GG03
, 5E346HH11
, 5E346HH17
