特許

J-GLOBAL ID：200903081312413049

液封型圧力センサ用圧力検出エレメントおよび液封型圧力センサ

発明者： 太斎 義明 ,  東條 孝 ,  木村 裕次 ,  鈴木 和重 ,  石川 欣一
出願人/特許権者： 株式会社鷺宮製作所
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-297869
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116643
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 リードピンとオイル充填用パイプのハーメチックガラスによる加熱封着を一挙にでき、必要リードピン数が増えても、加工工程が増えることがなく、加熱封着のばらつきが生じ難く、安定した品質を維持し易い構造の圧力検出エレメントを提供すること。【解決手段】 エレメント本体11に形成された開口部12にセンサチップ用のリードピン18とオイル充填用パイプ19とを同時ハーメチック処理により貫通状態で固着されたハーメチックガラス13が気密に嵌め込み固定され、開口部12を覆うようにエレメント本体11にダイヤフラム14が装着されてこれとハーメチックガラス13との間に液封室17が画定され、ハーメチックガラス13の液封室17側にセンサチップ40が装着され、オイル充填用パイプ19よりオイルを液封室17に充填された後その先端19aが封止されている。

請求項（抜粋）：

エレメント本体に形成された開口部にセンサチップ用のリードピンとオイル充填用パイプとを同時ハーメチック処理により貫通状態で固着されたハーメチックガラスが気密に嵌め込み固定され、開口部を覆うように前記エレメント本体にダイヤフラムが装着されて当該ダイヤフラムと前記ハーメチックガラスとの間に液封室が画定され、前記ハーメチックガラスの前記液封室の側にセンサチップが装着され、前記オイル充填用パイプよりオイルを前記液封室に充填され、当該オイル充填用パイプの先端が封止されていることを特徴とする液封型圧力センサ用圧力検出エレメント。

IPC (2件)：

G01L 19/14 ,  G01L 9/04 101

FI (2件)：

G01L 19/14 ,  G01L 9/04 101

Fターム (9件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055EE11 ,  2F055FF11 ,  2F055FF43 ,  2F055GG12 ,  2F055GG25

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧力検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-319631   出願人：株式会社山武
• 圧力センサ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-092480   出願人：株式会社デンソー
• 圧力検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-332250   出願人：株式会社デンソー
• 特公平6-065974