特許

J-GLOBAL ID：200903081341093355

蛍光走査型プローブ顕微鏡

発明者： 童 毅
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-125216
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333234
出願日： 1994年06月07日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】蛍光像を高いコントラストで得られる蛍光走査型顕微鏡を提供する。【構成】走査系として、円筒型圧電アクチュエーター56、レンズ枠58、透明な試料台60を備えている。蛍光顕微鏡系として、照明用光源12、コレクターレンズ14、シャッター16、励起用光源18、コレクターレンズ20、シャッター22、ハーフミラー24、励起フィルター28、補助励起フィルター26、ハーフミラー30とダイクロイックミラー32、コンデンサーレンズ34、励起光吸収フィルター36、ミラー38、赤外吸収フィルター40、接眼レンズ42、CCDカメラ44を備えている。AFM系として、探針66を備えたカンチレバー64、非可視光光源68、二分割光検出器70、差動増幅器72、対物レンズ46、CCDカメラ48を有している。さらに、CCDコントローラ52、CCDカメラ切り替え回路50、テレビモニター54を有している。

請求項（抜粋）：

蛍光顕微鏡と走査型顕微鏡を複合化した蛍光走査型プローブ顕微鏡において、自由端部に探針を備えたカンチレバーで、探針と試料の間に働く相互作用により変位する柔軟なカンチレバーと、カンチレバーの探針変位を光学的に検出する変位検出手段とを備えており、変位検出手段は、非可視光の変位検出ビームを射出する光源を含んでいることを特徴とする蛍光走査型プローブ顕微鏡装置。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 21/64 ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-233404
  
• 走査型近視野顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-054092   出願人：セイコー電子工業株式会社
• 特開平4-233404