特許
J-GLOBAL ID:200903081341161857

オンライン較正プロセス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川原田 一穂
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-512752
公開番号(公開出願番号):特表2004-510222
出願日: 2001年07月17日
公開日(公表日): 2004年04月02日
要約:
生プロセスデータを集め、集められたデータを、数理学的モデルを通して処理し、品質の予測を得、この予測を2種の独立したダイナミック伝達関数を通して処理して、2種の中間信号を生成させ、得られた2種の中間信号を、履歴において時間の関数として保存し、実際かつ確認された品質測定の時間に、特定の最小及び最大のデッドタイムに対応する時間における2種の中間信号の最小及び最大絶対値を前記履歴から検索する、ここでその値は最小及び最大の可能な予測値を規定し、実際かつ確認された測定値と得られる最小及び最大の可能な予測値間に含まれる領域との差異として偏差を計算し、得られた偏差の絶対値が0になった場合はこれらの段階を繰返し、得られた偏差の絶対値が0より大きい場合は偏差をプロセスモデルに導入し、前記段階を繰り返す、ことによる、生プロセス測定値からのプロセス品質のリアルタイム予測用のプロセスモデルの自動オンライン較正方法。偏差を数理学的モデルに導入するためのカルマンフィルター方法を使用することにより、その線形パラメーターが更新され、それにより該モデルを改良する。カルマンフィルターを用いた較正プロセスは、非定常常態下で適用できる。
請求項(抜粋):
生プロセス測定値からのプロセス品質のリアルタイム予測のためのプロセスモデルの自動オンライン較正方法であって、 (a)生プロセスデータを集める、 (b)段階a)で集められたデータを、プロセスモデルを通して処理し、品質の予測を得る、 (c)この予測をダイナミック伝達関数を通して処理して、2種の中間信号を生成する、 (d)段階c)で得られた2種の中間信号を、履歴において時間の関数として保存する、 (e)実際かつ確認された品質測定の時間に、特定の最小及び最大のデッドタイムに対応する時間における2種の中間信号の最小及び最大絶対値を前記履歴から検索する、ここでその値は最小及び最大の可能な予測値を規定する、 (f)実際かつ確認された測定値と段階e)において得られるような最小及び最大の可能な予測値間に含まれる領域との差異として偏差を計算する、 (g)段階f)にて得られた偏差の絶対値が0になった場合は段階i)に移り、段階f)にて得られた偏差の絶対値が0より大きい場合は段階h)に移る、 (h)偏差をプロセスモデルに導入する、 (i)段階a)-h)を繰り返す、 ことを含む該方法。
IPC (2件):
G05B13/02 ,  G05B13/04
FI (2件):
G05B13/02 K ,  G05B13/04
Fターム (7件):
5H004GA08 ,  5H004GA17 ,  5H004GB02 ,  5H004KC13 ,  5H004KC22 ,  5H004KC26 ,  5H004KC27
引用特許:
審査官引用 (1件)

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