特許

J-GLOBAL ID：200903081393167560

荷電粒子ビームガイド

発明者： 黒河 明 ,  一村 信吾 ,  吉原 一紘
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  科学技術庁金属材料技術研究所長
代理人 (1件)： 工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-083203
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254598
出願日： 1995年03月15日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】 荷電粒子ビームをまわりの電位勾配に対して斜入射させても偏向せずに直進させる。【構成】 荷電粒子ビームガイドは、管状の絶縁体と、該絶縁体の内壁および外壁をそれぞれ覆って形成された内側高抵抗皮膜および外側高抵抗皮膜を具えている。

請求項（抜粋）：

管状の絶縁体と、該絶縁体の内壁および外壁をそれぞれ覆って形成された内側高抵抗皮膜および外側高抵抗皮膜を具えたことを特徴とする荷電粒子ビームガイド。

IPC (4件)：

G21K 1/02 ,  G01T 1/36 ,  G21K 1/087 ,  H01J 37/147

FI (4件)：

G21K 1/02 C ,  G01T 1/36 D ,  G21K 1/087 F ,  H01J 37/147 D