抵抗体およびそのトリミング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊藤洋二 , 三浦高広 , 水野史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-164397
公開番号（公開出願番号）：特開2004-014697
出願日： 2002年06月05日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】抵抗体をトリミングするにあたって、トリミングに要する面積を少なくし、且つ抵抗値変動を適度に抑制した微調整を可能にする。【解決手段】抵抗体10に対してサーペンタインカット型のレーザトリミングを行うことにより、抵抗体10の幅方向の両側から交互にカットされた複数個の第1のカット部11を形成することで抵抗値の粗調整を行い、次に、個々の第1のカット部11の間においてレーザトリミングを行うことにより、抵抗値の微調整を行うための第2のカット部12を抵抗体10の幅方向に沿って形成する。第1のカット部11と第2のカット部12との間隔ΔWを変更することによって抵抗変化値ΔRの微調整範囲を見積もることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

抵抗体(10)の抵抗値を調整するトリミング方法であって、前記抵抗体に対してサーペンタインカット型のトリミングを行うことにより、前記抵抗体の幅方向の両側から交互にカットされた複数個の第1のカット部(11)を形成し、次に、個々の前記第1のカット部の間においてトリミングを行うことにより、第2のカット部(12)を前記抵抗体の幅方向に沿って形成することを特徴とする抵抗体のトリミング方法。

IPC (2件)：

H01L21/822 , H01L27/04

FI (2件)：

H01L27/04 V , H01L27/04 P

Fターム (3件)：

5F038AR07 , 5F038AR08 , 5F038EZ20

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-275401
特開昭62-281460
トリミング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-291219 出願人：松下電器産業株式会社

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