静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193850
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045757
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】セラミック体とベース板をシリコーン接着剤で接合した静電チャックでは、シリコーン接着剤の熱伝導率が比較的低いため、接着厚みのバラツキがあるとウェハ等の被吸着物を均一な温度に保つことが困難であった。【解決手段】内部電極12を埋設し吸着面11aを有するセラミック体11と、ベース板13とをインジウム又はインジウム合金の接着層14で接合して静電チャック10を構成する。

請求項（抜粋）：

内部電極を埋設し吸着面を有するセラミック体と、ベース板とをインジウム又はインジウム合金からなる接着層を介して接合したことを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 R , H01L 21/68 A , B65G 49/07 E

引用特許：

出願人引用 (3件)

静電チヤツク
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-294696 出願人：富士電機株式会社
特開平3-003249
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-013923 出願人：京セラ株式会社

審査官引用 (3件)

静電チヤツク
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-294696 出願人：富士電機株式会社
特開平3-003249
特開平3-003249

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