特許
J-GLOBAL ID：200903081441851192
基板処理装置および基板処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲岡 耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-313934
公開番号（公開出願番号）：特開平10-310240
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】基板処理の効率化を図る。【解決手段】基板S1は、上昇位置にあるプッシャピン81に受け渡され、このプッシャピン81が下降することにより、搬送ローラ30に受け渡される。搬送ローラ30に基板S1を受け渡した後、プッシャピン80は、基板S1を回避しつつ上昇し、次の基板S2を受け取る。プッシャピン80は、鉛直方向に延びる基部41と、この基部41から水平方向に延びる水平アーム部42と、この水平アーム部42の先端から鉛直上方に向かって延びる基板支持部43とを有する。したがって、基部41を鉛直軸まわりに回動させることにより、水平アーム部42および基板保持部43を基板の搬送経路から退避させ得る。この状態でプッシャピンPを上昇させれば、基板S1とプッシャピンPとが干渉することがない。【効果】基板S1が搬送されていく前に、基板S2を受け取ることができる。
請求項（抜粋）：
複数枚の基板を収容可能なカセットが載置されるカセット載置部と、このカセット載置部に載置されたカセットに基板を1枚毎に収納または取り出しを行う搬送ロボットと、ほぼ水平な搬送面に沿って基板を移送し、基板に処理を施す処理部に対して、基板を搬入または搬出する搬送コンベアと、上記搬送面よりも上方の上昇位置と、上記搬送面よりも下方の下降位置との間で、基板を保持して上昇および下降可能で、かつ、上記搬送コンベアによって搬送される基板の経路を回避して昇降可能であり、上記上昇位置において、上記搬送ロボットとの間で基板を受け渡し、上記上昇位置と下降位置との間で昇降することにより、上記搬送コンベアとの間で基板を受け渡す受け渡し手段とを含むことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B65G 49/07 C
, B65G 49/07 B
, H01L 21/68 A
