ウエハー容器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦兼行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201704
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050815
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】従来のウエハー容器は、大口径で、かつ、厚さの異なるウエハーを輸送する場合に、輸送中の衝撃に耐えられずウエハーが割れてしまうことがある。また、輸送のため容器を梱包した後の、梱包の体積が大きい。【解決手段】ウエハー容器1は、上面と下面に断面が凹形状の窪みを有する帯電防止の独立発泡体からなる樹脂部2と、樹脂部2の上記の窪みに嵌合するように配置された緩衝材3からなり、樹脂部2の緩衝材3の外側位置には横ずれ防止用の凸部4と凹部5とが形成された構造である。これにより、取扱上帯電防止の樹脂で軽量のウエハー容器1が構成される。下カバーの凹部にウエハーを乗せ、以後ウエハー容器1を積み上げてその緩衝材3に1枚のウエハーを乗せることを繰り返すことにより、多段に積み上げられたウエハー容器1の緩衝材3の凹部内に1枚ずつ、全部で必要枚数のウエハーをウエハー容器1内に収納保管する。

請求項（抜粋）：

上下両面の中央部に、収納するウエハーの径より大なる径の凹部がそれぞれ形成された断面形状の樹脂部と、前記樹脂部の前記凹部内に設けられた断面凹形状の独立発泡体からなる緩衝材とを有し、複数枚積み重ねられて前記緩衝材内のそれぞれに前記ウエハーを1枚ずつ収納することを特徴とするウエハー容器。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭48-028953
特開昭60-167414
特開昭60-167415

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