特許
J-GLOBAL ID：200903081554397757

露光装置における基板の給排方法

発明者：
鈴木 謙作

鈴木 謙作 について

, 
渡辺 一生

渡辺 一生 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (5件)： 曾我 道照 ,  曾我 道治 ,  古川 秀利 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-110147
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292645
出願日： 2004年04月02日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】短時間で基板を給排することができる露光装置における基板の給排方法を提供する。【解決手段】XYステージ2を最終の露光位置からアンローディング位置Uへ移動させると、ここに待機していた排出用搬送ロボットのアーム4がXYステージ2の溝部6に差し込まれ、このアーム4を上昇させることにより基板3が持ち上げられてXYステージ2から排出される。XYステージ2はローディング位置Lへ移動し、未露光の基板を保持する供給用搬送ロボットのアームが下降してXYステージ2の溝部6に上方から挿入され、未露光の基板がXYステージ2上に供給される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ローディング位置のXYステージ上に基板を供給し、XYステージを基板と共に最初の露光位置へ移動させて露光し、最終の露光位置まで順次XYステージを移動させて逐次露光し、XYステージをアンローディング位置へ移動させてXYステージ上から基板を排出する露光装置において、 XYステージ上に搬送ロボットのアームが収容される溝部を形成し、 基板を載せた搬送ロボットのアームを上方からローディング位置のXYステージの溝部に下降させて基板をXYステージ上に供給し、 アンローディング位置に搬送ロボットのアームを待機させた状態で基板を載せたXYステージを搬送ロボットのアームの延長方向からアンローディング位置へ移動させることによりXYステージの溝部に搬送ロボットのアームを差し込み、 搬送ロボットのアームを上昇させることによりXYステージから基板を排出する ことを特徴とする露光装置における基板の給排方法。
IPC (4件)：
G03F9/00 ,  B65G49/06 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68
FI (4件)：
G03F9/00 Z ,  B65G49/06 Z ,  H01L21/68 A ,  H01L21/30 502J
Fターム (17件)：
2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA49 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031MA27 ,  5F031PA18 ,  5F046AA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06
引用特許：
出願人引用 (1件)

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