特許

J-GLOBAL ID：200903081610771268

トレンチの深さの検出および制御のための方法および装置

発明者： ムント・ランダル・エス.
出願人/特許権者： ラム リサーチ コーポレーション
代理人 (1件)： 特許業務法人 明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-527328
公開番号（公開出願番号）：特表2003-510622
出願日： 2000年09月27日
公開日（公表日）： 2003年03月18日
要約：

【要約】【課題】【解決手段】 ウエハのトレンチの深さを光学的に検出するための方法が開示されている。その方法は、複数波長光源の光度の第1の最大値を検出する工程を含み、光の一部は、ウエハの上部トレンチ表面から反射される。次いで、複数波長光源の光度において、第2の最大値が検出され、光の一部は、ウエハの下部トレンチ表面から反射される。その方法は、さらに、第1の最大値と第2の最大値との間の最大ピーク差を決定する。ここで、トレンチの深さは、最大ピーク差に対応する。本発明は、トレンチ深さの検出のための頑丈かつ低コストの方法を提供する。

請求項（抜粋）：

トレンチの深さを光学的に検出するための方法であって、 複数波長光の光強度の第1の最大値を、前記複数波長光の一部がトレンチ上面から反射される状態で検出する工程と、 複数波長光の光強度の第2の最大値を、前記複数波長光の一部がトレンチ底面から反射される状態で検出する工程と、 前記トレンチの深さに対応する前記第1の最大値と前記第2の最大値との間の最大ピーク差を決定する工程とを備える方法。

IPC (2件)：

G01B 11/22 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01B 11/22 G ,  H01L 21/66 P

Fターム (34件)：

2F065AA25 ,  2F065BB05 ,  2F065BB18 ,  2F065CC19 ,  2F065EE00 ,  2F065FF52 ,  2F065FF67 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL13 ,  2F065LL46 ,  2F065NN20 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ02 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ51 ,  4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106BA04 ,  4M106CA22 ,  4M106CA48 ,  4M106CA70 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開昭62-214306
  
• 特開昭62-214306
  
• 屈折率計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-206027   出願人：株式会社生体光情報研究所
• 特開昭62-214306
  
• 特開昭62-293106
  
• 特開平1-235807