チャンバ型イオン搬送式イオン化装置及び方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：木内光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-358809
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176691
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】オゾンや電磁ノイズの発生及び発塵等をなくし、狭いスペースに対しても除電が可能であるチャンバ型イオン搬送式イオン化装置を提供する。【解決手段】軟X線、低エネルギー電子線、紫外線又は沿面放電の発生部、あるいは密封放射性同位元素などのイオン化源4を、チャンバ1の内部に配置する。イオン化源4の電源部及び制御部からなる制御装置5は、チャンバ1の外部に配置する。チャンバ1の下流側には、複数の隔壁7,7からなる遮蔽部を設け、イオン化源4から発生する軟X線、低エネルギー電子線又は放射性同位元素からの放射線等を遮蔽する。

請求項（抜粋）：

チャンバ内に供給されたイオン搬送ガスの一部をイオン化するイオン化部と、帯電体に向かってイオン搬送ガスを供給する吹出部を有するチャンバを備え、前記イオン化部が、前記チャンバに内蔵されたイオン化源と、前記チャンバの外部に設けられ、前記イオン化源によるイオン発生量を制御する制御装置とから構成されていることを特徴とするチャンバ型イオン搬送式イオン化装置。

IPC (2件)：

H05F 3/06 , B01J 3/00

FI (2件)：

H05F 3/06 , B01J 3/00 J

Fターム (3件)：

5G067AA42 , 5G067DA22 , 5G067DA24

引用特許：

出願人引用 (9件)

軟X線を利用した除電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-181639 出願人：シシド静電気株式会社, 浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-319910 出願人：浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-148010 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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審査官引用 (13件)

軟X線を利用した除電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-181639 出願人：シシド静電気株式会社, 浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-319910 出願人：浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-148010 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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